仪器型号：Regulus8220  生产厂家:日本日立公司

主要技术指标：

1、电子光学系统

1.1  二次电子分辨率：0.6nm@15kV、0.7nm@1kV

1.2  加速电压：最低0.5kV；最高30kV

1.3  放大倍数：最小20倍；最大200万倍（底片模式）

1.4  电子枪：冷场发射电子枪

1.5  电子束流：1pA～20nA

2、样品室

2.1 样品台：5轴自动马达驱动

2.2 配有样品交换仓

3、检测器

二次电子检测器：顶位、高位及低位二次电子探测器

4、能谱仪

4.1可分析元素周期表5-95号元素

4.2能谱分辨率≥128eV

送样要求：

1. 样品需干燥、无磁性、不含油、不易挥发

2. 粉末样品需要研磨均匀，粒度大小均一

3. 块状样品的边缘不要超过样品台（样品台为圆形，最大直径为1英寸）